22 Mar. 2019 |
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전우진 교수가 UT Dallas - 국민대 In-FUSION 센터 (UTD-KMU In-FUSION Center) Workshop 에서 "Development of atomic layer deposition process on 2D materials and for 2D materials" 라는 주제로 초청발표를 하였습니다.
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15 Feb. 2019 |
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전우진 교수가 제 26회 한국반도체학술대회 (KCS2019)에서 "New Perspectives in Atomic Layer Deposition Technique for 2D Material Thinfilm Deposition and Thinfilm Deposition on 2D Materials" 라는 주제로 초청발표를 하였습니다.
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14 Jan. 2019 |
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전우진 교수가 한국재료학회 편집임원으로 선임되었습니다.
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10 Jan. 2019 |
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김병석 학생, 정의영 학생이 2019년 봄학기 석사과정 신입생으로 l'ete에서 연구를 시작하였습니다. 환영합니다!
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03 Dec. 2018 |
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HfO2 박막 내 삽입된 Al2O3 위치에 따른 누설전류 mechanism을 분석하여 HfO2 의 누설전류 conduction physics에 대해 분석한 논문 "Controlling the Current Conduction Asymmetry of HfO2Metal–Insulator–Metal Diodes by Interposing Al2O3Layer"이 IEEE Transactions on Electron Devices지에 publish되었습니다.
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03 Dec. 2018 |
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DRAM capacitor dielectric으로 현재 적용중인 ZrO2/Al2O3/ZrO2 적층구조의 Ru 전극 적용 및 후속공정에 따른 특성 향상에 대한 논문 "Controlling the Electrical Characteristics of ZrO2/Al2O3/ZrO2 Capacitors by Adopting a Ru Top Electrode Grown via Atomic Layer Deposition"이 Physica Status Solidi Rapid Research Letters지에 publish되었습니다.
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16 Aug. 2018 |
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DIPAS라는 Si 전구체를 이용하여 SiNx 박막 증착을 위한 ALD 공정 setup 및 증착 온도에 따른 SiNx 박막의 chemical property 변화에 대한 논문, "Chemistry of SiNx thin film deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition using di-isopropylaminosilane (DIPAS) and N2 plasma"가 Ceramics International 지에 publish되었습니다.
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14 May 2018 |
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Ag@TiO2-PVA hybrid system을 이용하여 flexible & transparent의 기계적 특성과 우수한 전기적 특성을 동시에 확보한 새로운 resistance-switching memory 재료에 대한 논문, "Resistance Switching Capable Polymer Nanocomposites Employing Networks of One-Dimensional Nanocarbon Wrapped by TiO2 Conformal Layer"가 IEEE Transactions on Nanotechnology 지에 publish 되었습니다.
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06 Mar. 2018 |
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SrTiO3의 ALD 증착 거동과 전기적 특성 개선에 대한 논문, "Quantitative Analysis of the Incorporation Behaviors of Sr and Ti Atoms During the Atomic Layer Deposition of SrTiO3 Thin Films"이 ACS Applied Materials & Interface 지에 publish되었습니다.
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01 Mar. 2018 |
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전자재료연구실 (L'ete) 홈페이지가 개설되었습니다.
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